产品特点
-
栅极电压VGS：0 - ±40V
-
漏极电压VDS：0 - ±3000V
-
四寄生参数(Ciss、Coss、Crss、Rg或Cies、Coes、Cres、Rg)同屏一键测量及显示
-
一体化设计：LCR+VGS低压源+VDS高压源+通道切换+上位机软件
-
单管器件（点测）、模组器件（列表扫描）、曲线扫描(选件)三种测试方式
-
标配2通道，可扩展至6通道，可测单管、多芯或模组器件（TH513仅1通道）
-
CV曲线扫描、Ciss-Rg曲线扫描
-
电容快速充电技术，实现快速测试
-
接触检查Cont
-
通断测试OP_SH
-
自动延时设置
-
Crss Plus功能：解决高频下Crss负值问题
-
高压击穿保护：DS瞬间短路，保护仪器
-
Interlock**锁功能：增加高压防护墙（仅TH513）
-
Cs-V功能：二极管结电容CV特性测试分析
-
等效模式转换功能，可选Cs或Cp模式
-
10档分选
A.一体化测试，集成度高、体积小、效率高
一台仪器内置了LCR数字电桥、VGS电压源、VDS电压源、高低压切换矩阵以及上位机软件，将复杂的接线、繁琐的操作集成在支持电容式触摸的Linux系统内，操作更简单。特别适合产线快速化、自动化测试。
B.单管器件测试，10.1寸大屏，四种寄生参数同屏显示，让细节一览无遗
MOSFET或IGBT*重要的四个寄生参数：Ciss、Coss、Crss、Rg，Cies、Coes、Cres、Rg均可一键测试，10.1寸大屏可同时将测量结果、等效电路图、分选结果等重要参数同时显示，一目了然。
一键测试单管器件器件时，无需频繁切换测试脚位、测量参数、测量结果，大大提高了测试效率。
C.列表测试，多个、多芯、模组器件测量参数同屏显示
TH510系列半导体C-V特性分析仪支持*多6个单管器件、6芯器件或6模组器件测试，所有测量参数通过列表扫描模式同时显示测试结果及判断结果。
D.曲线扫描功能（选件）
在MOSFET的参数中，CV特性曲线也是一个非常重要的指标，如下图
TH510系列半导体C-V特性分析仪支持C-V特性曲线分析，可以以对数、线性两种方式实现曲线扫描，可同时显示多条曲线：同一参数、不同Vg的多条曲线；同一Vg、不同参数多条曲线。
E.Cs-V功能,二极管结电容CV特性测试分析
得益于TH510系列功率器件CV特性分析仪内置了2路直流电源，使二极管的CV特性分析成为可能，Cs-V功能可用于测试各种二极管的结电容，并可分析二极管的CV特性。
F.等效模式转换
TH510系列功率器件CV特性分析仪测试结果的电容C均为串联模式Cs，对于部分需求测试并联模式Cp需求的客户，可自行切换。
G. 多种独特技术，解决自动化配套测试痛点
在配套自动化设备或者产线时，经常会遇到下列问题，同惠针对多种情况进行了优化。
1）独特技术解决Ciss、Coss、Crss、Rg产线/自动化系统高速测试精度
同惠电子在电容测试行业近30年的经验积累，得以在产线、自动化测试等高速高精度测试场合，都能保证电容、电阻等测试精度。
常规产线测试，提供标准0米测试夹具，直插器件可直接插入进行测试，Ciss、Coss、Crss、Rg测试精度高。
针对自动化测试，由于自动化设备测试工装通常需要较长连接线，大多自动化设备生产商在延长测试线时会带来很大的精度偏差，为此，同惠设计了独特的2米延长线并内置了2米校准，保证Ciss、Coss、Crss、Rg测试精度和0米测试夹具一致。
2）接触检查（Contact）功能，提前排除自动化测试隐患
在高速测试特别是自动化测试中，经常会由于快速插拔或闭合，造成测试治具或工装表面磨损、引线断裂而接触**，接触**的造成的*直接后果是误判测试结果而难以发现，在废品率突然增加或发出产品故障原因退回时才会发现，因此是一个极大的隐患。
同惠TH510系列半导体C-V特性分析仪采用了独特的硬件测试方法，采用了四端测量法，每个脚位均有两根线连接，若任意一根线断裂或者接触点接触**，均可及时发现并提供接触**点提示，仪器自动停止测试，等待进一步处理。
保障了结果的准确性，同时利于客户及时发现问题，避免了**品率提高及故障品退回等带来的损失。
3）快速通断测试（OP_SH）,排除损坏器件
在半导体器件特性测试时，由于半器件本身是损坏件，特别是多芯器件其中一个芯已经损坏的情况下，测试杂散电容仍有可能被判断为合格，而半导体器件的导通特性才是*重要的特性。
因此，对于本身导通特性**的产品进行C-V特性测试是完全没有必要的，不仅仅浪费了测量时间，同时会由于C-V合格而混杂在良品里，导致成品出货后被退回带来损失。
TH510系列半导体C-V特性分析仪提供了快速通断测试（OP_SH）功能,可用于直接判断器件本身导通性能。
4）Crss+Plus功能，解决自动化测试系统高频下Crss负值问题
Crss电容通常在pF级，容量较小，测试是个难题。
而在自动化测试系统中，由于过多的转接开关、过长测测试引线等带来的寄生参数。
因此，测试Crss，特别是在高频测试时通常会出现负值，
同惠电子凭借在电容器测试行业30年的技术及经验积累，采用独特的算法的Crss Plus模式，可保证即使是在自动化测试系统中、高频下也能测的正确的结果。
5）漏源高压击穿保护技术，防止损坏测试仪器
在测试功率器件电容时，漏极D通常会加上高压，特别是第三代功率半导体器件，电压甚至可高达1000V-3000V，当漏源瞬间击穿时，常会导致电容器瞬间短路放电，在漏源电压1500V时，放电电流可高达780A，如此大的瞬间电流，会反冲至仪器内部电路，并导致损坏。
同惠高压击穿保护技术，解决了此隐患，避免经常由于高压冲击损坏仪器，降低了维修成本的同时提高了自动化测试的效率。
6）Interlock互锁功能，确保高压下操作环境**（仅TH513）
在测试功率器件需施加高压，因此对于操作者及其他设备的**隔离非常重要，特别是在自动化产线，通常会将高压设备放置在一个隔离的环境，并通过**门开启关闭来保证操作者的**。
TH510系列功率器件CV特性分析仪配置了Interlock接口，可与**门开关连接，在**门开启时切断高压输出并禁止仪器启动，只有关闭后才能正常工作。确保了操作者和设备的**。
7）模组式器件设置，支持定制
针对模组式器件如双路（Dual）MOSFET、多组式IGBT，有些器件会有不同类型芯片混合式封装，TH510系列CV特性分析仪针对此情况做了优化，常见模组式芯片Demo已内置，特殊芯片支持定制。
8）10档分选及可编程HANDLER接口
仪器提供了10档分选，为客户产品质量分级提供了可能，分选结果直接输出至HANDLER接口
在与自动化设备连接时，怎么配置HANDLER接口输出，一直是自动化客户的难题，TH510系列LCR将HANDLER接口脚位、输入输出方式、对应信号、应答方式等完全可视化，让自动化连接更简单。
H. 简单快捷设置
参数可以任意选择，可打开及关闭，关闭参数可有效节约时间和数据传输；延时时间可自动设置或自行设置；栅极电阻可选漏源短路或漏源开路。
采用图形化设置界面，功能参数对应原理图设置一目了然。
I. 支持定制化，智能固件升级方式
同惠仪器对于客户而言是开放的，仪器所有接口、指令集均为开放设计，客户可自行编程集成或进行功能定制，定制功能若无硬件更改，可直接通过固件升级方式更新。
仪器本身功能完善、BUG解决、功能升级等，都可以通过升级固件(Firmware)来进行更新，而无需返厂进行。
固件升级非常智能，可以通过系统设置界面或者文件管理界面进行，智能搜索仪器内存、外接优盘甚至是局域网内升级包，并自动进行升级。
J. 半导体元件寄生电容知识
在高频电路中，半导体器件的寄生电容往往会影响半导体的动态特性，所以在设计半导体元件时需要考虑下列因素：
在高频电路设计中往往需要考虑二极管结电容带来的影响；
MOS管的寄生电容会影响管子的动作时间、驱动能力和开关损耗等多方面特性；
寄生电容的电压依赖性在电路设计中也是至关重要，以MOSFET为例
K. 标配附件
产品技术参数
|
产品型号
|
TH511
|
TH512
|
TH513
|
|
通道数
|
2（可选配4/6通道）
|
1
|
|
显示
|
显示器
|
10.1英寸(对角线)电容触摸屏
|
|
比例
|
16:9
|
|
分辨率
|
1280×RGB×800
|
|
测量参数
|
CISS、COSS、CRSS、Rg，四参数任意选择
|
|
测试频率
|
范围
|
1kHz-2MHz
|
|
精度
|
0.01%
|
|
分辨率
|
10mHz
|
1.00000kHz-9.99999kHz
|
|
100mHz
|
10.0000kHz-99.9999kHz
|
|
1Hz
|
100.000kHz-999.999kHz
|
|
10Hz
|
1.00000MHz-2.00000MHz
|
|
测试电平
|
电压范围
|
5mVrms-1Vrms
|
|
准确度
|
±（10%×设定值+2mV）
|
|
分辨率
|
1mVrms
|
0.5Vrms-1Vrms
|
|
10mVrms
|
1Vrms-2Vrms
|
|
VGS电压
|
范围
|
0 - ±40V
|
|
准确度
|
1%×设定电压+8mV
|
|
分辨率
|
1mV
|
0V - ±10V
|
|
10mV
|
±10V - ±40V
|
|
VDS电压
|
范围
|
0 - ±200V
|
0 - ±1500V
|
0 - ±3000V
|
|
准确度
|
1%×设定电压+100mV
|
|
输出阻抗
|
100Ω，±2%@1kHz
|
|
数学的运算
|
与标称值的**偏差Δ，与标称值的百分比偏差Δ%
|
|
校准功能
|
开路OPEN、短路SHORT、负载LOAD、夹具校准
|
|
测量平均
|
1-32次
|
|
AD转换时间（ms/次）
|
快速+：2.5ms(＞5kHz)
快速：11ms,
中速：90ms
慢速：220ms
|
|
*高准确度
|
0.5%（具体参考说明书）
|
|
CISS、COSS、CRSS
|
0.00001pF - 9.99999F
|
|
Rg
|
0.001mΩ - 99.9999MΩ
|
|
Δ%
|
±（0.000% - 999.9%）
|
|
多功能参数列表扫描
|
点数
|
50点，每个点可设置平均数，每个点可单独分选
|
|
参数
|
测试频率、Vg、Vd、通道
|
|
触发模式
|
顺序SEQ：当一次触发后，在所有扫描点测量，/EOM/INDEX只输出一次
|
|
步进STEP：每次触发执行一个扫描点测量，每点均输出/EOM/INDEX，但列表扫描比较器结果只在*后的/EOM才输出
|
|
图形扫描
|
扫描点数
|
任意点可选，*多1001点
|
|
结果显示
|
同一参数、不同Vg的多条曲线；同一Vg、不同参数多条曲线
|
|
显示范围
|
实时自动、锁定
|
|
坐标标尺
|
对数、线性
|
|
扫描参数
|
Vg、Vd、Freq
|
|
触发方式
|
手动触发一次，从起点到终点一次扫描完成，下个触发信号启动新一次扫描
|
|
结果保存
|
图形、文件
|
|
比较器
|
Bin分档
|
10Bin、PASS、FAIL
|
|
Bin偏差设置
|
偏差值、百分偏差值、关
|
|
Bin模式
|
容差
|
|
Bin计数
|
0-99999
|
|
档判别
|
每档*多可设置四个参数极限范围，四个测试参数结果设档范围内显示对应档号，超出设定*大档号范围则显示FAIL，未设置上下限的测试参数自动忽略档判别
|
|
PASS/FAIL指示
|
满足Bin1-10,前面板PASS灯亮，否则FAIL灯亮
|
|
存储调用
|
内部
|
约100M非易失存储器测试设定文件
|
|
外置USB
|
测试设定文件、截屏图形、记录文件
|
|
键盘锁定
|
可锁定前面板按键，其他功能待扩充
|
|
接口
|
USB HOST
|
2个USB HOST接口，可同时接鼠标、键盘，U盘同时只能使用一个
|
|
USB DEVICE
|
通用串行总线插座，小型B类（4个接触位置）；与USB TMC-USB488和USB2.0相符合，阴接头用于连接外部控制器。
|
|
LAN
|
10/100M以太网，8引脚，两种速度选择
|
|
HANDLER
|
用于Bin分档信号输出
|
|
RS232C
|
标准9针，交叉
|
|
RS485
|
标准差分线
|
|
GPIB
|
24针D-Sub端口（D-24 类），阴接头与IEEE488.1、2和SCPI兼容
|
|
开机预热时间
|
60分钟
|
|
输入电压
|
100-120VAC/198-242VAC可选择，47-63Hz
|
|
功耗
|
不小于130VA
|
|
尺寸（WxHxD）mm
|
430x177x405
|
|
重量
|
16kg
|
