產品特點
-
柵極電壓VGS：0 - ±40V
-
漏極電壓VDS：0 - ±3000V
-
四寄生參數(Ciss、Coss、Crss、Rg或Cies、Coes、Cres、Rg)同屏一鍵測量及顯示
-
一體化設計：LCR+VGS低壓源+VDS高壓源+通道切換+上位機軟件
-
單管器件（點測）、模組器件（列表掃描）、曲線掃描(選件)三種測試方式
-
標配2通道，可擴展至6通道，可測單管、多芯或模組器件（TH513僅1通道）
-
CV曲線掃描、Ciss-Rg曲線掃描
-
電容快速充電技術，實現快速測試
-
接觸檢查Cont
-
通斷測試OP_SH
-
自動延時設置
-
Crss Plus功能：解決高頻下Crss負值問題
-
高壓擊穿保護：DS瞬間短路，保護儀器
-
Interlock**鎖功能：增加高壓防護墻（僅TH513）
-
Cs-V功能：二極管結電容CV特性測試分析
-
等效模式轉換功能，可選Cs或Cp模式
-
10檔分選
A.一體化測試，集成度高、體積小、效率高
一臺儀器內置了LCR數字電橋、VGS電壓源、VDS電壓源、高低壓切換矩陣以及上位機軟件，將復雜的接線、繁瑣的操作集成在支持電容式觸摸的Linux系統內，操作更簡單。特別適合產線快速化、自動化測試。
B.單管器件測試，10.1寸大屏，四種寄生參數同屏顯示，讓細節一覽無遺
MOSFET或IGBT*重要的四個寄生參數：Ciss、Coss、Crss、Rg，Cies、Coes、Cres、Rg均可一鍵測試，10.1寸大屏可同時將測量結果、等效電路圖、分選結果等重要參數同時顯示，一目了然。
一鍵測試單管器件器件時，無需頻繁切換測試腳位、測量參數、測量結果，大大提高了測試效率。
C.列表測試，多個、多芯、模組器件測量參數同屏顯示
TH510系列半導體C-V特性分析儀支持*多6個單管器件、6芯器件或6模組器件測試，所有測量參數通過列表掃描模式同時顯示測試結果及判斷結果。
D.曲線掃描功能（選件）
在MOSFET的參數中，CV特性曲線也是一個非常重要的指標，如下圖
TH510系列半導體C-V特性分析儀支持C-V特性曲線分析，可以以對數、線性兩種方式實現曲線掃描，可同時顯示多條曲線：同一參數、不同Vg的多條曲線；同一Vg、不同參數多條曲線。
E.Cs-V功能,二極管結電容CV特性測試分析
得益于TH510系列功率器件CV特性分析儀內置了2路直流電源，使二極管的CV特性分析成為可能，Cs-V功能可用于測試各種二極管的結電容，并可分析二極管的CV特性。
F.等效模式轉換
TH510系列功率器件CV特性分析儀測試結果的電容C均為串聯模式Cs，對于部分需求測試并聯模式Cp需求的客戶，可自行切換。
G. 多種獨特技術，解決自動化配套測試痛點
在配套自動化設備或者產線時，經常會遇到下列問題，同惠針對多種情況進行了優化。
1）獨特技術解決Ciss、Coss、Crss、Rg產線/自動化系統高速測試精度
同惠電子在電容測試行業近30年的經驗積累，得以在產線、自動化測試等高速高精度測試場合，都能保證電容、電阻等測試精度。
常規產線測試，提供標準0米測試夾具，直插器件可直接插入進行測試，Ciss、Coss、Crss、Rg測試精度高。
針對自動化測試，由于自動化設備測試工裝通常需要較長連接線，大多自動化設備生產商在延長測試線時會帶來很大的精度偏差，為此，同惠設計了獨特的2米延長線并內置了2米校準，保證Ciss、Coss、Crss、Rg測試精度和0米測試夾具一致。
2）接觸檢查（Contact）功能，提前排除自動化測試隱患
在高速測試特別是自動化測試中，經常會由于快速插拔或閉合，造成測試治具或工裝表面磨損、引線斷裂而接觸**，接觸**的造成的*直接后果是誤判測試結果而難以發現，在廢品率突然增加或發出產品故障原因退回時才會發現，因此是一個極大的隱患。
同惠TH510系列半導體C-V特性分析儀采用了獨特的硬件測試方法，采用了四端測量法，每個腳位均有兩根線連接，若任意一根線斷裂或者接觸點接觸**，均可及時發現并提供接觸**點提示，儀器自動停止測試，等待進一步處理。
保障了結果的準確性，同時利于客戶及時發現問題，避免了**品率提高及故障品退回等帶來的損失。
3）快速通斷測試（OP_SH）,排除損壞器件
在半導體器件特性測試時，由于半器件本身是損壞件，特別是多芯器件其中一個芯已經損壞的情況下，測試雜散電容仍有可能被判斷為合格，而半導體器件的導通特性才是*重要的特性。
因此，對于本身導通特性**的產品進行C-V特性測試是完全沒有必要的，不僅僅浪費了測量時間，同時會由于C-V合格而混雜在良品里，導致成品出貨后被退回帶來損失。
TH510系列半導體C-V特性分析儀提供了快速通斷測試（OP_SH）功能,可用于直接判斷器件本身導通性能。
4）Crss+Plus功能，解決自動化測試系統高頻下Crss負值問題
Crss電容通常在pF級，容量較小，測試是個難題。
而在自動化測試系統中，由于過多的轉接開關、過長測測試引線等帶來的寄生參數。
因此，測試Crss，特別是在高頻測試時通常會出現負值，
同惠電子憑借在電容器測試行業30年的技術及經驗積累，采用獨特的算法的Crss Plus模式，可保證即使是在自動化測試系統中、高頻下也能測的正確的結果。
5）漏源高壓擊穿保護技術，防止損壞測試儀器
在測試功率器件電容時，漏極D通常會加上高壓，特別是第三代功率半導體器件，電壓甚至可高達1000V-3000V，當漏源瞬間擊穿時，常會導致電容器瞬間短路放電，在漏源電壓1500V時，放電電流可高達780A，如此大的瞬間電流，會反沖至儀器內部電路，并導致損壞。
同惠高壓擊穿保護技術，解決了此隱患，避免經常由于高壓沖擊損壞儀器，降低了維修成本的同時提高了自動化測試的效率。
6）Interlock互鎖功能，確保高壓下操作環境**（僅TH513）
在測試功率器件需施加高壓，因此對于操作者及其他設備的**隔離非常重要，特別是在自動化產線，通常會將高壓設備放置在一個隔離的環境，并通過**門開啟關閉來保證操作者的**。
TH510系列功率器件CV特性分析儀配置了Interlock接口，可與**門開關連接，在**門開啟時切斷高壓輸出并禁止儀器啟動，只有關閉后才能正常工作。確保了操作者和設備的**。
7）模組式器件設置，支持定制
針對模組式器件如雙路（Dual）MOSFET、多組式IGBT，有些器件會有不同類型芯片混合式封裝，TH510系列CV特性分析儀針對此情況做了優化，常見模組式芯片Demo已內置，特殊芯片支持定制。
8）10檔分選及可編程HANDLER接口
儀器提供了10檔分選，為客戶產品質量分級提供了可能，分選結果直接輸出至HANDLER接口
在與自動化設備連接時，怎么配置HANDLER接口輸出，一直是自動化客戶的難題，TH510系列LCR將HANDLER接口腳位、輸入輸出方式、對應信號、應答方式等完全可視化，讓自動化連接更簡單。
H. 簡單快捷設置
參數可以任意選擇，可打開及關閉，關閉參數可有效節約時間和數據傳輸；延時時間可自動設置或自行設置；柵極電阻可選漏源短路或漏源開路。
采用圖形化設置界面，功能參數對應原理圖設置一目了然。
I. 支持定制化，智能固件升級方式
同惠儀器對于客戶而言是開放的，儀器所有接口、指令集均為開放設計，客戶可自行編程集成或進行功能定制，定制功能若無硬件更改，可直接通過固件升級方式更新。
儀器本身功能完善、BUG解決、功能升級等，都可以通過升級固件(Firmware)來進行更新，而無需返廠進行。
固件升級非常智能，可以通過系統設置界面或者文件管理界面進行，智能搜索儀器內存、外接優盤甚至是局域網內升級包，并自動進行升級。
J. 半導體元件寄生電容知識
在高頻電路中，半導體器件的寄生電容往往會影響半導體的動態特性，所以在設計半導體元件時需要考慮下列因素：
在高頻電路設計中往往需要考慮二極管結電容帶來的影響；
MOS管的寄生電容會影響管子的動作時間、驅動能力和開關損耗等多方面特性；
寄生電容的電壓依賴性在電路設計中也是至關重要，以MOSFET為例
K. 標配附件
產品技術參數
|
產品型號
|
TH511
|
TH512
|
TH513
|
|
通道數
|
2（可選配4/6通道）
|
1
|
|
顯示
|
顯示器
|
10.1英寸(對角線)電容觸摸屏
|
|
比例
|
16:9
|
|
分辨率
|
1280×RGB×800
|
|
測量參數
|
CISS、COSS、CRSS、Rg，四參數任意選擇
|
|
測試頻率
|
范圍
|
1kHz-2MHz
|
|
精度
|
0.01%
|
|
分辨率
|
10mHz
|
1.00000kHz-9.99999kHz
|
|
100mHz
|
10.0000kHz-99.9999kHz
|
|
1Hz
|
100.000kHz-999.999kHz
|
|
10Hz
|
1.00000MHz-2.00000MHz
|
|
測試電平
|
電壓范圍
|
5mVrms-1Vrms
|
|
準確度
|
±（10%×設定值+2mV）
|
|
分辨率
|
1mVrms
|
0.5Vrms-1Vrms
|
|
10mVrms
|
1Vrms-2Vrms
|
|
VGS電壓
|
范圍
|
0 - ±40V
|
|
準確度
|
1%×設定電壓+8mV
|
|
分辨率
|
1mV
|
0V - ±10V
|
|
10mV
|
±10V - ±40V
|
|
VDS電壓
|
范圍
|
0 - ±200V
|
0 - ±1500V
|
0 - ±3000V
|
|
準確度
|
1%×設定電壓+100mV
|
|
輸出阻抗
|
100Ω，±2%@1kHz
|
|
數學的運算
|
與標稱值的**偏差Δ，與標稱值的百分比偏差Δ%
|
|
校準功能
|
開路OPEN、短路SHORT、負載LOAD、夾具校準
|
|
測量平均
|
1-32次
|
|
AD轉換時間（ms/次）
|
快速+：2.5ms(＞5kHz)
快速：11ms,
中速：90ms
慢速：220ms
|
|
*高準確度
|
0.5%（具體參考說明書）
|
|
CISS、COSS、CRSS
|
0.00001pF - 9.99999F
|
|
Rg
|
0.001mΩ - 99.9999MΩ
|
|
Δ%
|
±（0.000% - 999.9%）
|
|
多功能參數列表掃描
|
點數
|
50點，每個點可設置平均數，每個點可單獨分選
|
|
參數
|
測試頻率、Vg、Vd、通道
|
|
觸發模式
|
順序SEQ：當一次觸發后，在所有掃描點測量，/EOM/INDEX只輸出一次
|
|
步進STEP：每次觸發執行一個掃描點測量，每點均輸出/EOM/INDEX，但列表掃描比較器結果只在*后的/EOM才輸出
|
|
圖形掃描
|
掃描點數
|
任意點可選，*多1001點
|
|
結果顯示
|
同一參數、不同Vg的多條曲線；同一Vg、不同參數多條曲線
|
|
顯示范圍
|
實時自動、鎖定
|
|
坐標標尺
|
對數、線性
|
|
掃描參數
|
Vg、Vd、Freq
|
|
觸發方式
|
手動觸發一次，從起點到終點一次掃描完成，下個觸發信號啟動新一次掃描
|
|
結果保存
|
圖形、文件
|
|
比較器
|
Bin分檔
|
10Bin、PASS、FAIL
|
|
Bin偏差設置
|
偏差值、百分偏差值、關
|
|
Bin模式
|
容差
|
|
Bin計數
|
0-99999
|
|
檔判別
|
每檔*多可設置四個參數極限范圍，四個測試參數結果設檔范圍內顯示對應檔號，超出設定*大檔號范圍則顯示FAIL，未設置上下限的測試參數自動忽略檔判別
|
|
PASS/FAIL指示
|
滿足Bin1-10,前面板PASS燈亮，否則FAIL燈亮
|
|
存儲調用
|
內部
|
約100M非易失存儲器測試設定文件
|
|
外置USB
|
測試設定文件、截屏圖形、記錄文件
|
|
鍵盤鎖定
|
可鎖定前面板按鍵，其他功能待擴充
|
|
接口
|
USB HOST
|
2個USB HOST接口，可同時接鼠標、鍵盤，U盤同時只能使用一個
|
|
USB DEVICE
|
通用串行總線插座，小型B類（4個接觸位置）；與USB TMC-USB488和USB2.0相符合，陰接頭用于連接外部控制器。
|
|
LAN
|
10/100M以太網，8引腳，兩種速度選擇
|
|
HANDLER
|
用于Bin分檔信號輸出
|
|
RS232C
|
標準9針，交叉
|
|
RS485
|
標準差分線
|
|
GPIB
|
24針D-Sub端口（D-24 類），陰接頭與IEEE488.1、2和SCPI兼容
|
|
開機預熱時間
|
60分鐘
|
|
輸入電壓
|
100-120VAC/198-242VAC可選擇，47-63Hz
|
|
功耗
|
不小于130VA
|
|
尺寸（WxHxD）mm
|
430x177x405
|
|
重量
|
16kg
|
